国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“镍金属硅化物退火机台的监控方法”的专利，公开号CN121442994A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种镍金属硅化物退火机台的监控方法，包括：步骤一，提供硅基体，在硅基体上外延生长锗硅层；步骤二，在锗硅层上依次沉积镍金属层和氮化钛保护层；步骤三，实施快速热退火，使镍金属层的一部分和锗硅层的一部分发生反应形成镍金属硅锗化物层；步骤四，去除氮化钛保护层和未与硅基体发生反应的镍金属层；步骤五，量测镍金属硅锗化物层的厚度。实现对镍金属硅化物退火机台更好的监控，可以更好地捕捉到退火机台的温度波动，以便及时调整退火温度，保证了工艺稳定性，进而实现产品良率的提高。

　　天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2094次，专利信息2686条，此外企业还拥有行政许可397个。

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